ウェハー研磨機

ウェハー研磨機

ウェハー研磨機
中古機販売実績品

・設計製造販売、中古機整備販売
・両面研磨, Si-wafer ~φ300mm

特長
  • 研磨駆動は、上定盤・下定盤とキャリア用内歯・外歯の4軸駆動させることで均一な研磨を実現
  • 上定盤と下定盤をリアルタイムでギャプ補正するシステム搭載
    <各種センサー、アクチュエータによるシステム>
  • 上定盤と下定盤の温度コントロールをすることで、定盤の温度変化のひずみ低減機能
  • 定盤は低膨張材料を使うことで、温度影響をさらに低減
ウェハー研磨機
Φ300mm設計製造販売