設計、装置一式請負業務

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過去実績

  • 大型ゲートバルブ

    大型ゲートバルブ

    G6、G8、G10.5のL型・T型モーションの真空装置仕切弁。
  • N2環境 有機EL USC装置

    N2環境 有機EL USC装置

    G8サイズのパネルをN2置換し、USCで基板をクリーニングする。
  • MASK用USC装置

    MASK用USC装置

    CVDパネル用の専用マスク(凸型)をスポットUSCで基板をクリーニングする。
  • 14t対応回転テーブル

    14t対応回転テーブル

    重量物の回転展示用装置。
  • 搬送コンベア

    搬送コンベア

    パワーショベルの部品搬送コンベア(往復)。長さ:約19m 幅:3.3m