過去実績 大型ゲートバルブ G6、G8、G10.5のL型・T型モーションの真空装置仕切弁。 N2環境 有機EL USC装置 G8サイズのパネルをN2置換し、USCで基板をクリーニングする。 MASK用USC装置 CVDパネル用の専用マスク(凸型)をスポットUSCで基板をクリーニングする。 14t対応回転テーブル 重量物の回転展示用装置。 搬送コンベア パワーショベルの部品搬送コンベア(往復)。長さ:約19m 幅:3.3m
