特長 データからマスクレスで修正も容易 100cp~2000cpの粘度帯に対応 点塗布/線塗布/面塗布 40連マルチポンプヘッドで高速塗布 段差・凹凸面への均一膜厚塗布 ヘッドのZ軸制御とレーザーセンサ およびカメラによる補正機能を組み合わせることで、着滴位置予測 用途 ソルダーレジスト剤、導電性接着剤、半導体用レジストなど 仕様 基板サイズ 400mm × 400mm 40連マルチポンプ 24000 dot/sec 塗布状態確認用、捨て打ちユニット搭載 ポンプクリーニングユニット搭載 キャリブレーションユニット搭載