マルチポンプ塗布装置

マルチポンプ塗布装置

中粘度~高粘度帯の材料を非接触で塗布

40連マルチポンプヘッド搭載!
中~高粘度対応 非接触マスクレス高速塗布装置です。

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特長
  • データからマスクレスで修正も容易
    100cp~2000cpの粘度帯に対応
    点塗布/線塗布/面塗布
  • 40連マルチポンプヘッドで高速塗布
    段差・凹凸面への均一膜厚塗布
  • ヘッドのZ軸制御とレーザーセンサ
    およびカメラによる補正機能を組み合わせることで、着滴位置予測
用途
ソルダーレジスト剤、導電性接着剤、半導体用レジストなど
仕様
基板サイズ 400mm × 400mm
40連マルチポンプ 24000 dot/sec
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塗布状態確認用、捨て打ちユニット搭載
ポンプクリーニングユニット搭載
キャリブレーションユニット搭載